ICS 105
4-Achsen-Positioniersystem
Kurzbeschreibung
Der IC-Scanner ICS 105 ist ein 4-Achsen Positioniersystem zum Bewegen von ICR-Nahfeldmikrosonden in drei linearen Achsen und zum Drehen der ICR-Nahfeldmikrosonden in einer Achse über einem IC in seiner elektronischen Baugruppe.
Mittels der Sondenhalterung SH 01 ist es möglich Nahfeldsonden zu verwenden.
Technische Parameter
| Versorgung | 110 / 230 V |
| Schnittstelle | USB |
| Achsen x, y, z | |
| Max. Verfahrweg | (50 x 50 x 50) mm α-Rotation ±180° |
| Min. Verfahrweg | (10 x 10 x 10) µm α-Rotation 1° |
| Verfahrgeschwindigkeit | (10 x 10 x 5) mm/s α-Rotation 90°/s |
| Gewicht | 23 kg |
| Maße (L x B x H) | (350 x 400 x 420) mm |