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Qualitätsnachweis für ICR-Nahfeldmikrosonden

Die ICR-Nahfeldmikrosonden werden vor der Auslieferung einer Kalibriermessung unterzogen. Die ICR-Sonden werden dafür über einer definierten Feldquelle (Streifenleitung) vermessen und entsprechende Kennlinien sowie Korrekturkurven erstellt.

 

Messaufbau

Technische Parameter:

 

Streifenleitung

Breite:

25 µm

    

Spektrumanalysator

TG-Level:

100 dBµV

Länge:

2 cm

Ref.-Level:

100 dBµV

Abschluss:

50 Ohm

RBW:

1 MHz

Messabstand zur Sonde:

20 µm

VBW:

100 KHz

 

 

Ergebnis:

Unsere Kunden erhalten ein Zertifikat mit den gemessenen Kennlinien für das spezifische Maximum und Minimum [Sondentypen] der jeweiligen Mikrosonde. Diese beiden Kennlinien geben Aufschluss über die Qualität der Sonde.

Desweiteren wird eine Korrekturdatei erstellt. Mit dieser Datei kann im ChipScan oder im Excel das Messergebnis auf einen definierten Wert umgerechnet werden, so dass alle ausgelieferten Nahfeldmikrosonden bezogen auf einen Referenzwert gleich messen.

 

Sondenkennlinie (Frequenzgang der ICR-Nahfeldmikrosonde)
Messergebnis im Maximum über der gleichen Streifenleitung unter Berücksichtigung der Korrekturkurve